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传统的调Q激光器通过增加激光器的重复频率，同时保持其它工艺参数来提高加工速度。然而，随着重复频率的增加，激光的平均功率和脉冲能量非常迅速地降低，大大影响了微加工速度、特征尺寸和可实现的精度。
全固态高亮度时域可编程脉冲激光器
【摘 要】
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传统的调Q激光器通过增加激光器的重复频率，同时保持其它工艺参数来提高加工速度。然而，随着重复频率的增加，激光的平均功率和脉冲能量非常迅速地降低，大大影响了微加工速度
【机 构】
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清华大学精密仪器系,北京100084
【出 处】
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第二十二届全国激光学术会议
【发表日期】
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2016年10期
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