【摘 要】
:
利用射频溅射系统在p型Si(100)衬底上制备氮化硼薄膜。对其进行600~1000 ℃的常压下N2保护退火.通过傅立叶变换红外谱(FTIR)分析,发现hBN-cBN-hBN的可逆相变.通过不同温度退火
【机 构】
:
北京工业大学,应用数理学院,北京,100022
【出 处】
:
第六届中国功能材料及其应用学术会议
论文部分内容阅读
利用射频溅射系统在p型Si(100)衬底上制备氮化硼薄膜。对其进行600~1000 ℃的常压下N2保护退火.通过傅立叶变换红外谱(FTIR)分析,发现hBN-cBN-hBN的可逆相变.通过不同温度退火后立方相横光学振动模式峰位的移动,计算了氮化硼薄膜中残余应力的变化。发现沉积后退火很好地解决了高立方相氮化硼薄膜应力释放的问题,可提高立方氮化硼薄膜在硅衬底上的粘附性。并且探索性地讨论在退火过程中c-BN成核、生长与薄膜中应力变化的关系.
其他文献
考虑到粘弹性材料阻尼性能随环境的非线性变化,运用GRNN(广义回归网络)对粘弹阻尼材料动态力学性能函数进行逼近,并构建预测模型。结果证明,该模型具有良好的函数逼近效果,能
利用真空烧结工艺和表面氮化处理工艺,制备了纳米复合Ti(C,N)基金属陶瓷可转位刀片和功能梯度Ti(C,N)基金属陶瓷可转位刀片,详细研究了氮化处理对自制金属陶瓷刀具磨损形态和
用无皂乳液聚合法,一步制备了聚甲基丙烯酸甲酯/表面有机化二氧化硅(PMMA/SiO2)纳米杂化材料,采用了红外光谱(FT-IR)、透射电子显微镜(TEM)以及热分析(TGA-DSC)等仪器对材料
在脂肪酸分子中引入氮,合成了一种新型的环境友好润滑添加剂NLA,利用红外光谱对其主要官能团进行了表征。通过四球试验机考察了添加剂在矿物基础油中的抗磨减摩性能与极压性
采用化学气相沉积(CVD)法以脱油沥青(deoiled asphalt,DOA)为碳源制备出碳微球,对碳微球进行了真空热处理,运用硬脂酸对石墨微球进行表面修饰,并研究了硬脂酸修饰后石墨微球
论述了金属延性断裂形成的机理,介绍了常见断裂准则公式,对获得金属断裂准则的方法进行模型、原理介绍并给出验证。介绍了有限元技术在挤压、金属切削、切断和精冲工艺中断裂
贵金属热电偶(S、R、B)广泛应用于冶金、石化、能源、机械、电子、航空航天等国家重要工业部门.随着科技进步,研发水平的提高,贵金属热电偶丝的生产技术日渐成熟.重庆仪表材
固井质量评价主要依赖于水泥胶结测井结果;而声波水泥胶结测井结果受被测介质(套管-水泥环、水泥环-地层)的影响;文章以混合材水泥石为主要研究对象,利用超声波测试、扫描电镜
基于修正的镶嵌原子势建立了单晶α-Fe一维纳米线、二维纳米超薄膜和三维纳米固体3种纳米功能材料的物理模型,并采用分子动力学方法研究了其力学性能和变形破坏机制.模拟表明
研制了一种新型功能材料--剪切增稠液体(Shear thickening fluid,即STF)。采用溶胶凝胶方法制备纳米二氧化硅作为分散相,极性溶剂作为分散介质.用流变仪测量了二氧化硅质量分