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本文介绍了一种简单而新颖的振子-框架式微机械陀螺.对陀螺驱动特性和检测阻尼特性的分析表明,利用梳状叉指的侧向静电线驱动可获得较大的驱动幅度,利用检测端内框架和衬底之间较小的压膜阻尼效应,可提高检测模式的Q值,增大陀螺的灵敏度.同时介绍了陀螺制作的工艺流程.
一种新型的振子—框架式微机械陀螺
【摘 要】
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本文介绍了一种简单而新颖的振子-框架式微机械陀螺.对陀螺驱动特性和检测阻尼特性的分析表明,利用梳状叉指的侧向静电线驱动可获得较大的驱动幅度,利用检测端内框架和衬底之
【机 构】
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传感技术国家重点实验室
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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期刊
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