多通道氮氢检漏仪的设计与应用

来源 :中国真空学会2016学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liusheng123321
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  该文介绍了氢气浓度为5%的氮氢混合气,以及以此为示踪气体的多通道氮氢检漏仪(HD-840/HD-850)的设计与应用.多通道氮氢检漏仪的最小可检漏率可达到1×10-7Pa.m3/sec,且多通道可同时检漏从而提高检测效率.可满足当前大部分工业生产中小泄漏检测需求,同时提高产量.
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