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在传统的二硝基二氨合铂（P盐）镀铂配方的基础上，实现P-Si表面激光诱导选择性沉积铂。采用SEM、AES、EDS和XPS技术对得到的镀层进行了形貌、化学组成、电接触特性等方面的研究；并探讨了液相激光诱导化学沉积铂的机理。
P一Si上激光诱导局部沉积铂
【摘 要】
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在传统的二硝基二氨合铂（P盐）镀铂配方的基础上，实现P-Si表面激光诱导选择性沉积铂。采用SEM、AES、EDS和XPS技术对得到的镀层进行了形貌、化学组成、电接触特性等方面的研究；并
【机 构】
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大学化学系
【出 处】
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中国电子学会电镀专业委员会第七届电镀年会
【发表日期】
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1998年期
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