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采用焦磷酸质子交换技术制备LiNbO<,3>光波导,总结了交换条件、退火工艺和实验结果,报告了表面腐蚀情况和单模条件.测量分析了退火前后波导折射率分布的变化,开发循环迭代法拟合折射率分析.结果显示退火前后的折射率分别呈近似阶梯和近似指数的分布,均可用费米函数良好地描述.
焦磷酸质子交换波导工艺研究
【摘 要】
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采用焦磷酸质子交换技术制备LiNbO光波导,总结了交换条件、退火工艺和实验结果,报告了表面腐蚀情况和单模条件.测量分析了退火前后波导折射率分布的变化,开发循环迭代法拟合
【机 构】
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上海理工大学光学与电子信息工程学院(上海)
【出 处】
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全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议
【发表日期】
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2001年期
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