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Preparation and Low Temperature Crystallization of Silicon Nanorods by Glancing Angle Deposition
【机 构】
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College of Physical Sciences,Graduate University of Chinese Academy of Sciences,PO Box 4588,Beijing
【出 处】
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中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议(1st International Conference of th
【发表日期】
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2008年期
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