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具有雪崩体特性击穿的高温高压大功率硅器件的设计和制造,需要对器件的耐压稳定性和表面特性进行细致地控制以获得优良特性.器件基区设计、扩散方法、表面造型以及表面保护复合结构的综合优化是获得耐压温度特性优良的体特性器件的必要因素.
体特性高压硅器件的设计与制造
【摘 要】
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具有雪崩体特性击穿的高温高压大功率硅器件的设计和制造,需要对器件的耐压稳定性和表面特性进行细致地控制以获得优良特性.器件基区设计、扩散方法、表面造型以及表面保护复合结构的综合优化是获得耐压温度特性优良的体特性器件的必要因素.
【机 构】
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西安交通大学电气工程学院
【出 处】
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中国电工技术学会电力电子学会第八届学术年会
【发表日期】
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2002年12期
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