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Al-Ti合金靶材的显微结构
Al-Ti合金靶材的显微结构
来源 :1998年中国材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wkadjx
【摘 要】
:
Al-Ti合金薄膜具有优良的综合性能,近年来应用于包括半导体工业和光盘工业等诸多领域。合金靶材的组成和显微结构直接影响着合金薄膜的性能。该文研究了钛含量为1.0 ̄5.0wt℅的铝钛合金的相组
【作 者】
:
吴丽君
夏慧
陆彪
刘安生
韩雪
【机 构】
:
有色金属研究院
【出 处】
:
1998年中国材料研讨会
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
合金靶材
合金薄膜
半导体工业
相组成
综合性能
显微结构
膜耐热性
铝钛合金
金相组织
相结构
钛含量
多领域
应用
光盘
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Al-Ti合金薄膜具有优良的综合性能,近年来应用于包括半导体工业和光盘工业等诸多领域。合金靶材的组成和显微结构直接影响着合金薄膜的性能。该文研究了钛含量为1.0 ̄5.0wt℅的铝钛合金的相组成和金相组织,讨论了该合金的相结构与合金薄膜耐热性的关系。
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