高亮度小芯径半导体激光器光纤耦合模块

来源 :2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:papalong2009
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  随着半导体激光光源在激光材料加工、光纤激光器的泵浦源等领域应用的不断扩展,以激光二极管阵列制成的光纤耦合模块由于存在耦合效率低的缺点,已不能满足激光加工低成本的需求.因此,研制高耦合效率、高亮度的半导体激光器光纤耦合模块变得十分重要.半导体泵浦模块的亮度越高,就能够有效地将更多数量的泵浦光耦合进光纤中,提升输出功率,满足实际需求.传统的单管激光器光纤耦合模块只将单个激光器输出光束耦合进多模光纤中,激光功率有限并且在快轴方向的光束填充因子很低,导致光纤耦合模块亮度的整体下降.为了得到高亮度光束输出有两种方法:1提高功率输出2减小光纤的两个特征参数(光纤芯径、数值孔径),本文采用50um小芯径光纤传输,亮度可达3.7Mw/Cm2-sr.高功率激光二极管采用的是边发射条形结构,发出的光束是各向异性的椭圆形光束,快轴发散角(垂直于pn结方向)达到30°~60°,慢轴发散角(平行与pn结方向)达到8°~12°,快慢轴光束质量极不均衡.
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