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纳米压印工艺 利用软模板进行压印工艺可以提高大面积图形均匀性,并且提高图形的成品率,可以制作极高分辨率的纳米图形,是制作大面积纳米图形的不二选择.
采用纳米压印技术研究开发光电子器件
【摘 要】
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纳米压印工艺 利用软模板进行压印工艺可以提高大面积图形均匀性,并且提高图形的成品率,可以制作极高分辨率的纳米图形,是制作大面积纳米图形的不二选择.
【机 构】
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中国科技大学光电子科学与技术省重点实验室
【出 处】
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2014光通信技术和发展论坛
【发表日期】
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2014年9期
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