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光学探头由于其非接触和无损坏式的测量特性,在精密测量中受到了越来越多的关注。
其中,DVD激光头由于高集成度被广泛运用到了光学探头中。DVD激光头采用像散式的光学原理,通过四象限探测器输出聚焦误差电压信号FES(即S曲线)。光学探头将该电压信号反馈回控制单元,从而实现光学探头的自动控制功能。但实际中的被测物及其表面的特性各不相同,相应的S曲线变化也各不相同。因此,在实验的基础上,重点讨论了DVD激光头在对具有不同特性的被测物测量时S曲线的变化情况。这些不同的特性包括:物体的材料、表面粗糙度、表面加工方式、倾角不同的斜面和测量位置不同的曲面。讨论结果将会对光学探头在精密测量中的应用具有一定的参考意义。