基于CAN总线的洁净室控制系统设计与开发

来源 :2005第六届工业仪表与自动化学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aiyang1983
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本文研究了CAN总线技术在洁净室控制系统中的应用,介绍了CAN总线及CANopen协议的特点,并给出了洁净室控制系统的解决方案。从现场测试结果看,系统具有较好的稳定性和高精度的温度控制,满足半导体行业的生产要求。
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