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本文论述了微波MEMS开关的测试与模拟.开关为金属膜组成的桥式结构,其插入损耗和隔离性能取决于开态和关态的电容.采用微波在片测试系统,对开关进行了测试和模型提取,模型模拟值与测试值基本吻合.
MEMS开关的测试与模拟
【摘 要】
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本文论述了微波MEMS开关的测试与模拟.开关为金属膜组成的桥式结构,其插入损耗和隔离性能取决于开态和关态的电容.采用微波在片测试系统,对开关进行了测试和模型提取,模型模
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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2001全国微波毫米波会议
【发表日期】
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2001年期
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