【摘 要】
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对于THz频段的检测器,当器件的尺寸远远小于检测信号的波长时,可以获得快速的响应速度,但耦合信号的能力下降.为了提高检测器的信号耦合能力,需要借助天线收集信号.因此天线
【机 构】
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南京大学超导电子研究所江苏南京210093
【出 处】
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第二届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会
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对于THz频段的检测器,当器件的尺寸远远小于检测信号的波长时,可以获得快速的响应速度,但耦合信号的能力下降.为了提高检测器的信号耦合能力,需要借助天线收集信号.因此天线的性能直接决定着器件的响应频段、器件的灵敏度等参数指标. 六氮五铌(Nb5N6)microbolometer太赫兹检测器采用平面集成天线的方式来耦合信号,平面天线通过微加工技术,经过光刻、剥离等过程,集成在基片上,Nb5N6 microbolometer置于平面天线的中心.由于Nb5N6 microbolometer的常温直流电阻比较大,约1kΩ左右,为了获得好的阻抗匹配,采用偶极子天线,通过一定的结构设计,使其具有较高的特征阻抗.针对0.32THz的中心频率,尝试采用电容耦合信号的设计方法,研究了高阻抗的六氮五铌薄膜微桥与金属平面天线之间的阻抗匹配,提高了高阻抗Nb5N6 microbolometer的信号耦合能力.
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