Mevva源离子注入机大批量注入均匀性研究

来源 :第二届表面工程技术产业化学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sst3562008
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Mevva离子源具有束流强、离子种类多、引出电压高以及多孔大面积引出的特点,Mevva强流金属离子注入被誉为新一代的离子注入技术.本文简介了Mevva ⅡA-H源离子注入机研究了几种不同情况下的注入均匀性.
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