【摘 要】
:
本文重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其的发展进行了展望。
【机 构】
:
西安飞行自动控制研究所,西安710065
【出 处】
:
中国航空学会工艺专业分会辅机学组2007年度学术会议
论文部分内容阅读
本文重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其的发展进行了展望。
其他文献
采用溶胶-凝胶法制备了掺杂第一系列过渡元素离子的TiO粉末,分别光催化降解了甲基橙、罗丹明、茜素红、亚甲基兰和刚果红五种染料。实验结果表明,同一离子浓度掺杂的TiO在光
1常州市农机化发展现状“十一五”以来,常州市以科学发展观为统领,深入贯彻《中华人民共和国农业机械化促进法》,按照以规划引导产业发展、以工程支撑规划推进、以项目保障工程
利用自制纳米TiO为光催化剂对亚硝酸盐废水进行了处理,探讨了pH、催化剂投加量和空穴清除剂等因素对光催化降解亚硝酸盐的影响,对反应条件进行了优化。结果表明,当pH=3、TiO投
一、供试品种与方法1.供试品种供试品种为全明星、印都卡、丹东大果,由新疆农科院引进。2.田间设计试验采用随机区组排列,重复2次,行长15~15.3米,行距38~40厘米,株距15厘米,66
分析了当前农机"三率"偏低的原因,提出通过创新管理机制解决拖拉机、联合收割机牌证管理率和年检率偏低问题。
利用沉积-沉淀法在TiO-AlO载体上制备出负载型的纳米Au催化剂(Au/TA),表征了催化剂的物化性能,评价了Au/TA催化剂在不同反应条件下催化氧化C0和H的性能。结果表明,一方面,反
以TiO为光催化剂,采用高压汞灯为光源,对甘蔗渣造纸漂白废水进行光催化降解的研究,主要探讨了TiO用量、pH、充气量和光催化时间等因素对甘蔗渣造纸漂白废水降解的影响。研究
近年来,泰州市高港区许庄街道在上级业务部门的精心指导下,按照市农机主管部门、安监局的统一部署和要求,以科学发展为指导,坚持"安全第一,预防为主,综合治理"的方针,认真开展
利用超声方法合成了两种铝交联蒙脱土(S-M)和(N-M),并分别利用不同质量分数的硫酸溶液对其进行酸化处理,制备了两个系列的酸化交联蒙脱土催化剂(w-S-M)和(w-N-M)。利用XRD和BE
本文就航空机载行业工艺管理的现状进行了分析,对工艺管理体制主要形式、内容、方法等阐述了基本观点,对开展工艺管理工作开展了初步探讨。