双面Si条两维位置灵敏探测器的研制及在空间探测中的潜在应用

来源 :第二十三届全国空间探测学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cheng233
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介绍了在核物理和高能物理实验研究中使用的新型探测器--双面硅条两位位置灵敏探测器的结构,工作原理,制备工艺及测试结果。该探测器的灵敏面积为50×50 mm2,前面和背面都被分为相等宽度的16 条(每条的面积为50×3mm2),在微电子工艺线上采用平面工艺和离子注入技术制备。在-25 伏偏压下,各条的反向漏电流都<10nA,对前面16条的能量分辨进行了初步测量,得到2.2%的能量分辨率(对5.486MeVα-粒子)。
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