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基于相对论电子束的太赫兹辐射源可产生强场或高平均功率太赫兹辐射。用于产生相对论电子束THz辐射的加速器主要有静电加速器、常温射频加速器和射频超导加速器三种类型。静电加速器主要用于产生长脉冲和窄谱THz辐射，常温射频加速器可产生高峰值功率THz脉冲，但脉冲重复频率一般较低。射频超导加速器由于工作在低温超导状态下，超导加速腔具有极低的表面损耗，因而可运行在长宏脉冲或连续波(CW)模式，从而可以产生具有高重频和高平均功率的THz辐射。