【摘 要】
：
文本以常压MOCVD（AP-NOCVD）系统为对象、分析了AlCaAs生长过程中控制多数对气相Al组分含量量XAl和固相Al组分含量X之间关系的影响。结果表明，在采用AP-MOCVD系统生长AlCaAs时，在
【机 构】
：
科学院上海冶金研究所半导体料与器件研究至
论文部分内容阅读
文本以常压MOCVD（AP-NOCVD）系统为对象、分析了Al<,x>Ca<,1-x>As生长过程中控制多数对气相Al组分含量量XAl和固相Al组分含量X之间关系的影响。结果表明，在采用AP-MOCVD系统生长AlCaAs时，在生长的质量传输控制区以及v族源大大过量的条件下，气相含氧杂质和源物质气相反应等会造成Al分配系数k<,Al> 对1的有规律偏离、TMAl质量流量F<,A1>、低时，K<,A1>偏低，F<,A1>高时，k<,A1>偏高。若将理论分析与实验反应系统和具体生长条件结合起来考虑，有望对l组分含量达到满意控制。
其他文献
该文比较详细地研究了采用金属有机化合物热分解(MOD)法制备锆钛酸铅Pb(Zr
钟鼓楼词曲、演唱:何勇我的家就在二环路的里边这里的人们有着那么多的时间他们正在说着谁家的三长两短他们正在看着你掏出什么牌子的烟小饭馆里面辛勤的是外地的老乡们他们
首先我们要定义什么才是城市,什么才是现代城市。中国的城市曾经是一个围绕着皇帝国王或诸侯大臣生活的贩卖农产品的交易市场,就像一个遥远仙境中的世俗生活;而在遥远的西方,
张大力的大头人像曾经成为拆迁的视觉化符号,其实这种如今已经带有经典性的符号并不是灵机一动的结果。这个符号的萌发、产生、成型实际与中国大城市的城市化进程同步,正是在
针对显示器电源线传导泄漏信号中红信号识别的难题，该文提出基于粒子群(PSO)算法优化支持向量机(SVM)的识别方法。首先对传导泄漏信号进行滤波预处理并分段，然后利用粒子群-支
夏玉米高产栽培技术要点河南农业大学郭应信我省地处中原，光热资源丰富，是玉米的适生区。玉米是我省主要秋粮作物，粮食生产形势好坏，事关全省政治经济大局。但由于在种植与管理上
本文设计合成了一系列后过渡金属有机配合物,并成功地应用于乙烯的齐聚和高聚.