交流电作用下不同宽度金纳米互连引线的疲劳行为研究

来源 :北京力学会第17届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiexiangjun

【摘要】

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　　本文基于扫描电镜(SEM)下的四探针系统进行了35nm厚、0.1-5μm宽的金纳米互连线在交流电作用下的力电疲劳实验.在保留传统的扫描电镜下的四探针实验的同时加入了温度探针

【作者】

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凌雪孙丽娟李喜德

【机构】

：

清华大学航天航空学院,100084

【出处】

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北京力学会第17届学术年会

【发表日期】

：

2011年1期

【关键词】

：

交流电作用金纳米互连引线疲劳行为温度探针电致热力行为

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　　本文基于扫描电镜(SEM)下的四探针系统进行了35nm厚、0.1-5μm宽的金纳米互连线在交流电作用下的力电疲劳实验.在保留传统的扫描电镜下的四探针实验的同时加入了温度探针的使用，将四探针推广到五探针实验。并且通过理论推导得到在交流电作用下金纳米引线上的温度场分布，分析得到极薄板细金纳米线的疲劳破坏机制.结果显示较细的纳米引线具有较高的疲劳寿命，同时纳米线呈现出较多的电致热力行为.

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