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气密封装技术是微电路制造的关键技术。我国军用标准对应用于可靠性要求较高的场合中的微电路器件提出了对内部水气含量和漏气率的控制指标,本文简要讨论了与实现这种要求相关的 RGA 技术、检漏技术、密封工艺等方面问题。气密封装应用范围广泛,本文重点介绍在微电路组件方面的一些应用形式。
气密封装技术及其应用
【摘 要】
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气密封装技术是微电路制造的关键技术。我国军用标准对应用于可靠性要求较高的场合中的微电路器件提出了对内部水气含量和漏气率的控制指标,本文简要讨论了与实现这种要求相
【机 构】
：
南京电子技术研究所;
【发表日期】
：
2004年期
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