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6H-SiC的飞秒激光超衍射加工
【机 构】
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南开大学物理科学学院/泰达应用物理学院,弱光非线性光子学教育部重点实验室,天津300457山东大学,晶体材料国家重点实验室,济南250100
【出 处】
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第16届全国凝聚态光学性质学术会议
【发表日期】
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2012年7期
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