【摘 要】
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本文采用RF-PCVD法,以AlCl3+O2为反应体系,分析高频等离子反应器内的高温化学反应、Al2O3气相成核以及晶粒长大过程,认为晶粒的长大过程为制备过程的控制步骤,并决定最终粉体
【机 构】
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太原理工大学化学化工学院,山西,太原,030024
【出 处】
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第五届全国材料与热加工物理模拟及数值模拟学术会议
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本文采用RF-PCVD法,以AlCl3+O2为反应体系,分析高频等离子反应器内的高温化学反应、Al2O3气相成核以及晶粒长大过程,认为晶粒的长大过程为制备过程的控制步骤,并决定最终粉体的粒度大小.采用分子动力论中的Brownian碰撞理论,经合理简化,建立了晶粒长大的动力学模型.模型表明:颗粒的长大速率与温度的1/2次方、Al2O3的浓度成正比,与粒径的2/3次方成反比,体系本身对长大过程存在自约束现象.在高频等离子反应器内,传递因素决定纳米颗粒的最终粒径大小及其分布。
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