衍射微透镜列阵的研究与应用

来源 :中国光学学会光学制造技术专业委员会首届学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mercurian88
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该文研究了衍射微透镜列阵的设计与制作工艺方法,在此基础上研制出一系列衍射微透镜列阵,衍射效率均大于85℅,在深紫外、可见及红外波前传感器中得到了成功应用。
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