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衍射微透镜列阵的研究与应用
衍射微透镜列阵的研究与应用
来源 :中国光学学会光学制造技术专业委员会首届学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mercurian88
【摘 要】
:
该文研究了衍射微透镜列阵的设计与制作工艺方法,在此基础上研制出一系列衍射微透镜列阵,衍射效率均大于85℅,在深紫外、可见及红外波前传感器中得到了成功应用。
【作 者】
:
杜春雷
周礼书
邱传凯
【机 构】
:
科学院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
:
中国光学学会光学制造技术专业委员会首届学术会议
【发表日期】
:
1998年5期
【关键词】
:
衍射透镜
衍射效率
激光直写
RIE刻蚀
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该文研究了衍射微透镜列阵的设计与制作工艺方法,在此基础上研制出一系列衍射微透镜列阵,衍射效率均大于85℅,在深紫外、可见及红外波前传感器中得到了成功应用。
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