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利用脉冲激光溅射沉积PZT压电陶瓷薄膜。着重研究了制备过程对膜层成分和结构的控制。
脉冲激光溅射沉积PZT膜
【摘 要】
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利用脉冲激光溅射沉积PZT压电陶瓷薄膜。着重研究了制备过程对膜层成分和结构的控制。
【机 构】
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中国科学院金属研究所(沈阳)
【出 处】
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第五届全国激光加工学术报告会
【发表日期】
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1999年期
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