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Preparation AIN and ZnO thin films on freestanding diamond substrates for packageless surface acoust
【作 者】
:
【机 构】
:
School of Materials Science and Engineering,Shanghai University,Shanghai 200072,China
【出 处】
:
第六届国际氧化锌及相关材料研讨会
【发表日期】
:
2010年期
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