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能谱仪(energy dispersive X-ray spectrometer，即EDS)是一种测量X射线强度与X射线能量函数关系的设备，通常作为扫描电镜与透射电镜等形貌观察分析仪器的附件，用来对待测样品进行元素的定性、定量分析。文中阐述了电压选择、荷电效应、碳污染、定量分析条件、峰形选择、面扫描和线扫描等因素对能谱仪在化石样品元素分析的影响。