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本文采用磁控溅射技术进行硼掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备工作，通过在溅射气 氛中引入氧气与氢气两种不同的反应气氛，分别获得了长波上的高透过率与高光学带隙， 同时较为系统地分析了不同溅射气氛对氧化锌透明导电薄膜光学特性的影响机制，为实现 对透明导电薄膜宽光谱域光学特性的调控提供了有效的手段。