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介绍了圆片级可靠性测试技术,对其特点和作用作了详细的论述.测试内容上着重介绍了金属化完整性测试、氧化层完整性测试、连接完整性测试和热载流子注入测试,对不同测试结构的作用进行了说明.
WLR测试技术
【摘 要】
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介绍了圆片级可靠性测试技术,对其特点和作用作了详细的论述.测试内容上着重介绍了金属化完整性测试、氧化层完整性测试、连接完整性测试和热载流子注入测试,对不同测试结构
【机 构】
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信息产业部电子第五研究所(广东广州)
【出 处】
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中国电子学会可靠性分会第十一届学术年会
【发表日期】
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2002年期
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