【摘 要】
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光学测量领域存在一个共性问题，由于受衍射极限的限制，聚焦焦斑呈现为弥散的艾里斑，其结果制约了光学测量系统分辨能力、定焦能力和多参数探测能力的提高，这在高空间分辨能力的激光共焦显微成像仪器和高精度的激光干涉元件参数测量仪器中显得尤为突出，并己成为众多重大专项和高新工程推进的技术瓶颈问题。针对上述问题，本团队在多项国家自然基金面上项目的支持下开展了激光共焦显微成像/检测原理层面的创新研究，在多项国家自
【机 构】
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北京理工大学精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室 北京100101
【出 处】
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中国仪器仪表学会第十六届青年学术会议
论文部分内容阅读
光学测量领域存在一个共性问题，由于受衍射极限的限制，聚焦焦斑呈现为弥散的艾里斑，其结果制约了光学测量系统分辨能力、定焦能力和多参数探测能力的提高，这在高空间分辨能力的激光共焦显微成像仪器和高精度的激光干涉元件参数测量仪器中显得尤为突出，并己成为众多重大专项和高新工程推进的技术瓶颈问题。针对上述问题，本团队在多项国家自然基金面上项目的支持下开展了激光共焦显微成像/检测原理层面的创新研究，在多项国家自然基金科学仪器基础研究专款项目的支持下开展了所提激光共焦显微成像/检测新原理的仪器化研究，在国家重大科学仪器开发专项等项目的支持下对所研制的激光共焦显微成像/检测新原理仪器进行仪器开发研究和在国家重大工程中的应用研究。
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