【摘 要】
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目前对真空电子器件进行残余气体分析,通常采用的方法是使用特殊的开孔器将真空器件和配以四极质谱计的真空分析室相连,在真空分析室达到一定的真空度的时候,开孔器在电真空
【机 构】
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东南大学电子科学与工程学院,南京,210096
【出 处】
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第十四届全国质谱分析和检漏会议、第九届全国真空计量测试会
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目前对真空电子器件进行残余气体分析,通常采用的方法是使用特殊的开孔器将真空器件和配以四极质谱计的真空分析室相连,在真空分析室达到一定的真空度的时候,开孔器在电真空器件上开孔使得器件内部残余气体通过开孔器进入真空分析室,并由四极质谱计对残余气体进行分析。在开孔取样的过程中,由于管壳受到开孔器击针的作用会放出气体从而干扰甚至影响到残余气体的成分。本文研究了在电真空器件的无氧铜管排气管上开孔进行残余气体分析时,无氧铜管在开孔器动作过程中受力放气对采样残余气体成分的影响。
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