反应离子刻蚀制作SOI脊形光波导

来源 :第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenlecheng
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
SOI(silicon-on-insulator)光波导是硅基光波导器件的基础上,也是实现其它有源器件无源器件以及光学器件交叉连接的基础.三维脊形光波导引入水平方向的折射率差,加强了波导对光场的限制,可以实现大截面尺寸单模传输的SOI光波导.采用反应离子刻蚀方法制作了脊形SOI光波导.本文讨论了气体流量、射频功率以及刻蚀深度对刻蚀速率的影响,分析了硅的各向异性反应离子刻蚀机理.通过优化工艺条件,制作出边缘垂直的脊形结构SOI光波导.
其他文献
详细介绍了国内外机车故障诊断的最新进展,内容包括:故障诊断理论研究及仪器开发应用.指出机车故障诊断车载化、智能化是今后的发展方向.
目前我国实行的不动产登记制度是由国土部门统一负责,而在登记过程当中,是以登记档案的形式来实现不动产信息管理工作,因此,登记档案也成了该制度实施的关键因素。就不动产登记档
水利工程建设事业是我国基础的工程建设,是功在在当代,利在千秋的民心工程之一.而混凝土施工技术在整个工程中起着举足轻重的作用,它的质量关系到整个的进度和质量,稍有差错,
建筑是城市最主要的组成部分,能提升一个城市的外在形象。城市规划设计与建筑设计关系密切,城市规划设计以建筑设计为基础,建筑设计要遵循城市整体规划设计,因此处理好城市规划设
中等剂量的氢离子注入硅片后,经恰当的热处理,可形成埋层微空腔层,并进而使硅膜剥离.结合低温键合工艺,可使一薄层的硅膜转移到另一衬底上形成多层结构材料.利用这种智能剥离
将氮和氧离子在不同能量下次次注入于硅圆片并高湿退火,形成具有Si-N-O/Si/SiO夹心埋层的SOI结构.对该样品做了截面透射电镜(XTEM)、二次离子质谱(SIMS)、扩展电阻和击穿场强
制造在兰紫光波段内高量子效率的PIN光电二极管,浅结是必要的.为了达到线结,硼离子注入后,使用了1000℃、30s的高温快速热退火.对具体芯片的暗电流跟踪测试表明,硼离子注入后
经济的发展对电力提出了更高的要求,电力的发展又为经济的发展提供有力支撑,两者相辅相成。在城市电网发展的过程中,尽管我们已经取得了一定的成就,但仍然还存在一些问题,制约了我
海绵城市建设目前已成为众多行业和科技领域的讨论热点之一,也面临众多争议,海绵城市建设的内涵、目标、内容和效果等均存在不同认识。针对雨水管理这一理念,提出了海绵城市这个
随着建筑业的爆棚式发展我国已经进入到了建筑行业业态的稳定发展期,整体建筑业的建设规模、数量等也在逐渐下降,虽然价格高居不下,但在品质方面却有了显著改善;比如,户型设计、室