【摘 要】
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本文将压阻式扩散硅压力传感器用在气体容量法定碳、碘量法定硫的高速分析仪器上,对碳硫进行分析测试.对其设计工艺作了改进,使得该压力传感器在灵敏度、非线性、稳定性和过载能力等方面都得到了显著的提高.并成功地应用于HQ-4B型智能碳硫自动分析仪中,使其稳定性和测试精度又上了一个新的台阶.
【机 构】
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无锡英之诚高速分析仪器有限公司,无锡,214035 复旦大学微电子系传感器研究室,上海,20043
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本文将压阻式扩散硅压力传感器用在气体容量法定碳、碘量法定硫的高速分析仪器上,对碳硫进行分析测试.对其设计工艺作了改进,使得该压力传感器在灵敏度、非线性、稳定性和过载能力等方面都得到了显著的提高.并成功地应用于HQ-4B型智能碳硫自动分析仪中,使其稳定性和测试精度又上了一个新的台阶.
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