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类金刚石薄膜是采用脉冲真空电弧镀的方法在底基为N型和P型的单面抛光硅片上沉淀，氧化铪薄膜是采用物理气相沉积法在玻璃上沉淀。利用椭偏仪测量这两种薄膜的光学常数和膜厚，研究发现类金刚石薄膜在可见光波段色散性比较弱；对于氧化铪薄膜，在充入同样的氧气和氩气比例时，电子能量越大，氧化铪薄膜的折射率和消光系数越大。在同样的电子能量下，氧气和氩气的比例中，氧气的比重越大其折射率和消光系数越大。