论文部分内容阅读
干涉显微镜可用于超精加工表面的加工质量评定，但是这种方法无法获得表面形貌图，因而难以全面评定表面的加工质量。该文提出了一种干涉显微镜的参考相位调制方法，配以CCD摄像机、图像处理系统和微型计算机，可获得了超精加工表面的形貌，并能全面评定表面加工质量。文中论述了其中的参考本位市制实现方法，给出了实验结果。