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多电子注电子枪和聚焦系统的设计
多电子注电子枪和聚焦系统的设计
来源 :第六届电子束离子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abc890619
【摘 要】
:
该文叙述了多电子注电子枪和聚焦系统的特点及其设计方法,并探讨了倒向场的补偿设计,文中还给出了一个设计实例。
【作 者】
:
李声沛
忻宝禄
【机 构】
:
科学院电子学研究所
【出 处】
:
第六届电子束离子束学术年会
【发表日期】
:
1995年期
【关键词】
:
多电子注
电子枪
聚焦系统
设计实例
设计方法
补偿设计
叙述
倒向
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该文叙述了多电子注电子枪和聚焦系统的特点及其设计方法,并探讨了倒向场的补偿设计,文中还给出了一个设计实例。
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