多电子注电子枪和聚焦系统的设计

来源 :第六届电子束离子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abc890619
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该文叙述了多电子注电子枪和聚焦系统的特点及其设计方法,并探讨了倒向场的补偿设计,文中还给出了一个设计实例。
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