【摘 要】
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利用石英衬底,通过射频磁控溅射技术在其表面制备银电极,构造Ag/ZnO微米线/Ag肖特基型MSM结构紫外光电探测器。在325 nm紫外光照射下对该器件的光电响应性能进行了测试,
【机 构】
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Department of Physics, Jiangsu University of Science and Technology, Zhenjiang, 212003
【出 处】
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第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
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利用石英衬底,通过射频磁控溅射技术在其表面制备银电极,构造Ag/ZnO微米线/Ag肖特基型MSM结构紫外光电探测器。在325 nm紫外光照射下对该器件的光电响应性能进行了测试,该器件具有105高光电流增益,这一高光电流增益归因于该器件独特的肖特基接触结构和微米线六重对称产生的回音壁模增强效应。该器件光电流增益对紫外光强度遵循幂率关系G(∝)P0.69,结果说明该肖特基紫外光响应器件的高光电流增益内在机制源于空穴捕获产生的载流子空间分离效应。结果表明MSM结构氧化锌微米线紫外探测器具有良好的紫外响应能力。
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