【摘 要】
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偏振是光学研究的一个重要参数.大多数光探测器都是强度探测器,对偏振信息不敏感.超导纳米线单光子探测器(Superconducting nanowire single-photon detector,SNSPD)由于
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050
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偏振是光学研究的一个重要参数.大多数光探测器都是强度探测器,对偏振信息不敏感.超导纳米线单光子探测器(Superconducting nanowire single-photon detector,SNSPD)由于其类似光栅的纳米曲折线结构,使得SNSPD对不同偏振方向的光的吸收效率具有差异性.在本报告中,我们将介绍如何利用SNSPD的这一特性制备具有高消光比(polarization extinction ratio,PER)的SNSPD.首先,我们通过物理模型的仿真模拟,得到最优化的器件结构参数,其结果表明,当纳米曲折线满足占空比低,线宽窄等要求时,将获得较高的PER.其次,我们在双面氧化的Si衬底上,用膜厚为7nm的NbN超导薄膜刻蚀出纳米线,制备SNPSD.最后,我们使用1550 nm波长的光从器件背面入射进行测量,对于线宽为50 nm占空比为20%的SNSPD,在平行偏振光下探测效率达到12%,PER达到22.
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