静电致动阵列微阀的研究

来源 :中国气动技术发展研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：QQ747881021

【摘要】

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基于微电子机械(Micro Electro Mechanical System,MEMS)加工工艺,将16个静电致动的单微阀集成化,形成阵列微阀.它克服了单微阀固有的非线性响应,利用二进制信号精确控制流量

【作者】

：

丁英涛何枫

【机构】

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清华大学工程力学系(北京)

【出处】

：

中国气动技术发展研讨会

【发表日期】

：

2003年期

【关键词】

：

电致动阵列 Mechanical System 微电子机械二进制信号响应速度线性响应微观流动速度控制控制流量精确定位加工工艺高速气缸集成化

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基于微电子机械(Micro Electro Mechanical System,MEMS)加工工艺,将16个静电致动的单微阀集成化,形成阵列微阀.它克服了单微阀固有的非线性响应,利用二进制信号精确控制流量,实现微观流动与宏观流动的结合.由于阵列微阀有较高的响应速度,所以可被用于对高速气缸的精确定位和速度控制等方面.

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