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常温下生长未退火和较低退火温度处理的薄膜的晶体结构仍然处于非晶相,当退火温度升到某一值时,非晶Si 或SiC 开始慢慢固相晶化,发生非晶态向纳米晶相的转变,逐渐形成了镶嵌在SiC 介质中的纳米晶硅薄膜.
镶嵌在SiC介质中的纳米晶硅薄膜结构与光致发光研究
【摘 要】
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常温下生长未退火和较低退火温度处理的薄膜的晶体结构仍然处于非晶相,当退火温度升到某一值时,非晶Si 或SiC 开始慢慢固相晶化,发生非晶态向纳米晶相的转变,逐渐形成了镶嵌在SiC 介质中的纳米晶硅薄膜.
【机 构】
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浙江师范大学物理系,金华 321004
【出 处】
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中国物理学会2011年秋季学术会议
【发表日期】
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2011年9期
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