等离子体紫外光源技术的进展及应用

来源 :中国真空学会2012学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:saintdong
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  以等离子体放电为机理的紫外光源,在现代技术领域中应用更加广泛和具体,如杀菌、消毒,激光泵浦,光敏材料的固化,介质表面的改性,光清洗,微电子集成电路的刻蚀,污染物的降解,生物医学检测及诊治等[1-3]。目前多以管状光源为主。随着技术的发展和应用领域的拓展,平板紫外光源技术得到发展,体现了良好的发展前景。
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