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本文运用有限元方法计算了硅微电容式超声换能器(cMUT)的谐振频率，并考虑了实际换能器工作需要施加直流偏置电压的情况，分别计算了有偏置电压时不同厚度振动膜的谐振频率，分析偏置电压对硅微电容超声换能器谐振频率的影响。
偏置电压对硅微电容超声换能器频率的影响分析
【摘 要】
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本文运用有限元方法计算了硅微电容式超声换能器(cMUT)的谐振频率，并考虑了实际换能器工作需要施加直流偏置电压的情况，分别计算了有偏置电压时不同厚度振动膜的谐振频率，分析偏
【机 构】
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中国科学院声学研究所,北京,100190
【出 处】
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2010中国西部地区声学学术交流会
【发表日期】
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2010年8期
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