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微纳流控芯片技术不断朝着小型化、高集度的方向发展，分析对象逐步从液滴过渡到纳米颗粒及生物大分子，应用的场景也逐步从单一的功能过渡到全方位一体化的操控和检测。微纳流控芯片的大规模集成技术的发展变得迫在眉睫。硅光器件的近场光镊力是实现微纳样品操控的有力手段。如果微纳流控芯片的集成能依托成熟的硅基工艺，将可实现跨越式的发展。