【摘 要】
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本文提出力平衡式微机械加速度计系统一种数字式实现方法,利用单片机AT89c2051产生方波,控制模拟开关,实现电容电压(C-V)转换,并用单片机ADμc812对C-V转换电路输出信号进行滤波放大处理,得到加速度信号.该系统具有适用范围广,设计灵活,研制周期短等特点,无需设计新硬件,修改单片机算法即可实现对不同加速度计的驱动,通过优化算法就可以实现系统优化.
【机 构】
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浙江大学信电系半导体光电子所,310027 上海微系统所一室,200050
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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本文提出力平衡式微机械加速度计系统一种数字式实现方法,利用单片机AT89c2051产生方波,控制模拟开关,实现电容电压(C-V)转换,并用单片机ADμc812对C-V转换电路输出信号进行滤波放大处理,得到加速度信号.该系统具有适用范围广,设计灵活,研制周期短等特点,无需设计新硬件,修改单片机算法即可实现对不同加速度计的驱动,通过优化算法就可以实现系统优化.
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