【摘 要】
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随着微机电系统开发的深入,作为微机电系统中关键执行部件的微电动机的研制越来越受到关注.文章阐述了微电机的原理、分类及特点.
【机 构】
:
信息产业部电子第二十一研究所(上海)
【出 处】
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中国电子学会第十二届电子元件学术年会
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随着微机电系统开发的深入,作为微机电系统中关键执行部件的微电动机的研制越来越受到关注.文章阐述了微电机的原理、分类及特点.
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