【摘 要】
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纳米压印技术,是一种可以制造微纳结构的并行制造技术,具有成本低、生产效率高和设备简易的特点.本文对纳米压印技术进行介绍,其中包括纳米压印技术的典型工艺和几种有代表性
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密工程研究所(哈尔滨)
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纳米压印技术,是一种可以制造微纳结构的并行制造技术,具有成本低、生产效率高和设备简易的特点.本文对纳米压印技术进行介绍,其中包括纳米压印技术的典型工艺和几种有代表性的演变工艺.然后讲述了纳米压印技术在微纳电子器件、光学器件与光电器件、微流体器件等微纳结构制备方面的应用.最后分析了纳米压印技术中有待解决的技术问题,并对该项技术的发展前景进行了总结和展望.
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