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SiGe材料就是在Si中引入适量的Ge形成SiGe合金。用SiGe合金作晶体管的基区，由于Ge的引入，使基区能带变窄，从而大大提高了发射区电子的注入效率。本文分别探讨了SiGe的优势、制备技术、材料技术的发展趋势及器件、电路发展趋势。
SiGe-半导体材料的新生力量
【摘 要】
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SiGe材料就是在Si中引入适量的Ge形成SiGe合金。用SiGe合金作晶体管的基区，由于Ge的引入，使基区能带变窄，从而大大提高了发射区电子的注入效率。本文分别探讨了SiGe的优势、制备
【机 构】
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模拟集成电路国家重点实验室,中电集团第24研究所重庆市南坪花园路14号,400060
【出 处】
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第三届高新技术用石英制品及相关材料技术与市场研讨会
【发表日期】
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2005年9期
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