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金属诱导多晶硅薄膜的形成和太阳能电池制作
金属诱导多晶硅薄膜的形成和太阳能电池制作
来源 :第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sollovewj
【摘 要】
:
在玻璃衬底上制作多晶硅薄膜太阳能电池是一种很有前途的薄膜光伏技术。本文介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的材料制备工艺,利用金属诱导晶化制作多晶硅薄膜种子层的同时制作
【作 者】
:
端伟元
邱羽
孟凡英
刘正新
【机 构】
:
中国科学院上海微系统与信息技术研究,上海
【出 处】
:
第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
【发表日期】
:
2012年期
【关键词】
:
金属诱导晶化
多晶硅薄膜
晶硅薄膜太阳能电池
种子层
制作
材料制备工艺
玻璃衬底上
形成机理
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在玻璃衬底上制作多晶硅薄膜太阳能电池是一种很有前途的薄膜光伏技术。本文介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的材料制备工艺,利用金属诱导晶化制作多晶硅薄膜种子层的同时制作电池背电极。对薄膜种子层的形成机理和材料性能进行了分析研究,并制备了基于异质结的多晶硅薄膜太阳能电池。
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