【摘 要】
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引言负氢离子源因具有高中性化效率,低表面充电等特性,在磁约束核聚变、高能物理、半导体刻蚀、材料改性和纳米材料制备等领域获得了重要应用.在核聚变方面,基于负氢离子源的中性束注入是下一代托卡马克装置,如国际热核聚变实验堆(ITER)必不可少的辅助加热手段.要产生大量的负氢离子,必需先制备高浓度的高振动态氢分子H2(v) (v＞5).高振动态氢分子主要来源于高能电子和基态氢分子的EV反应.
【机 构】
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大连理工大学物理与光电工程学院,大连
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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引言负氢离子源因具有高中性化效率,低表面充电等特性,在磁约束核聚变、高能物理、半导体刻蚀、材料改性和纳米材料制备等领域获得了重要应用.在核聚变方面,基于负氢离子源的中性束注入是下一代托卡马克装置,如国际热核聚变实验堆(ITER)必不可少的辅助加热手段.要产生大量的负氢离子,必需先制备高浓度的高振动态氢分子H2(v) (v＞5).高振动态氢分子主要来源于高能电子和基态氢分子的EV反应.
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